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公开(公告)号：CN118020026A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202280065688.4
申请日：2022-09-29
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 提供具有充分的拒液性、且能够兼具喷墨涂布性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物含有(A)共聚物、(B)碱溶性树脂和(C)光聚合性化合物，前述(A)共聚物含有具有通过照射活性能量射线而产生自由基的活性基团的单体(a1)、具有氟原子的单体(a2)和具有碳原子数2～4的环状醚基的单体(a3)作为构成单体。
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公开(公告)号：CN117136333A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202280025486.7
申请日：2022-03-28
Applicant: 三菱化学株式会社
Inventor： 利光惠理子
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供能够形成图案化性优异的间隔壁的着色感光性树脂组合物。本发明的着色感光性树脂组合物含有(a)着色剂、(b)碱可溶性树脂、(c)光聚合引发剂、(d)光聚合性化合物及(e)拒液剂，相对于着色感光性树脂组合物的全部固体成分量，上述(a)着色剂的含有比例为20质量％以下，上述(a)着色剂含有(a1)氧化钛粒子，上述(b)碱可溶性树脂的双键当量为1000g/mol以下，上述(c)光聚合引发剂含有在波长300～350nm具有极大吸收波长(λmax)的肟酯类光聚合引发剂(c1)，上述(e)拒液剂含有化合物(e1)，该化合物(e1)具有交联基团、且具有氟原子和/或硅氧烷链。
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公开(公告)号：CN111566561A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201980007828.0
申请日：2019-01-24
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 本发明提供拒墨性高、直线性良好的着色感光性树脂组合物。本发明的着色感光性树脂组合物含有：(A)烯属不饱和化合物、(B)光聚合引发剂、(C)碱可溶性树脂、(D)拒液剂、及(E)着色剂，其中，在所述着色感光性树脂组合物的全部固体成分中，所述(E)着色剂的含有比例为20质量％以下，所述(C)碱可溶性树脂含有(c1)侧链具有烯属不饱和基团的丙烯酸类共聚树脂、及(c2)环氧(甲基)丙烯酸酯树脂。
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公开(公告)号：CN106662694A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580041457.X
申请日：2015-07-30
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种光学元件的制造方法，该光学元件可容易地图案化且尺寸精度优异，具有无涂布缺陷的均匀的光学膜和保护膜，不受水和溶剂的影响。本发明涉及具有以下工序的光学元件的制造方法：(I)在基板上形成具有各向异性的光学膜，然后进行不溶性处理的工序；(II)在所述光学膜上形成保护层的工序；及(III)通过在所述保护层上设置掩模并进行曝光，采用碱性溶液进行显影，对所述保护层和所述光学膜进行图案化的工序。
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公开(公告)号：CN1675588A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN03818746.9
申请日：2003-08-05
Applicant: 三菱化学株式会社
CPC classification number: G03F7/033 , G03F7/0045 , G03F7/031
Abstract: 本发明提供一种成像材料及其抗蚀剂成像法，该成像材料具有对紫光区激光束高度敏感的紫激光感光性抗蚀剂材料层，同时，即使当抗蚀剂材料层的膜较厚时，其感光性也不会下降。本发明提供一种具有紫激光感光性抗蚀剂材料层的成像材料，该成像材料包括被加工基板和形成于所述基板上的紫激光感光性抗蚀剂材料层，其中所述感光性抗蚀剂材料层的膜厚至少为10μm，并且在405nm的波长处具有每1μm膜厚至多为0.3的吸光度，本发明还提供一种抗蚀剂成像法，其中用波长为320nm至450nm的激光束对所述成像材料的感光性抗蚀剂材料层进行扫描曝光，随后进行显影处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111566561B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN201980007828.0
申请日：2019-01-24
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 本发明提供拒墨性高、直线性良好的着色感光性树脂组合物。本发明的着色感光性树脂组合物含有：(A)烯属不饱和化合物、(B)光聚合引发剂、(C)碱可溶性树脂、(D)拒液剂、及(E)着色剂，其中，在所述着色感光性树脂组合物的全部固体成分中，所述(E)着色剂的含有比例为20质量％以下，所述(C)碱可溶性树脂含有(c1)侧链具有烯属不饱和基团的丙烯酸类共聚树脂、及(c2)环氧(甲基)丙烯酸酯树脂。
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公开(公告)号：CN117546088A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202280042164.3
申请日：2022-06-09
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: G03F7/038
Abstract: 本发明提供即使在低的固化温度下也具有高的拒液性、且不会发生油墨渗入这样的不良情况的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物含有(A)光聚合性化合物、(B)光聚合引发剂、(C)碱可溶性树脂及(D)拒液剂，其特征在于，上述(C)碱可溶性树脂含有共聚树脂(C1)，该共聚树脂(C1)具有在主链包含脂肪族多环结构的重复单元，上述(D)拒液剂含有化合物(D1)，该化合物(D1)具有交联基团，且包含氟原子和/或硅氧烷链。
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公开(公告)号：CN112313579A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201980042006.6
申请日：2019-07-18
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 本发明提供能够形成拒墨性高且锥形形状良好的间隔壁的感光性着色树脂组合物。本发明的感光性着色树脂组合物含有(A)光聚合引发剂、(B)碱可溶性树脂、(C)光聚合性化合物、(D)着色剂、及(E)拒液剂，其中，所述(A)光聚合引发剂含有肟酯类光聚合引发剂(A1)和肟酯类光聚合引发剂(A2)，所述肟酯类光聚合引发剂(A1)在波长400nm下的吸光度相对于在波长300～400nm间的最大吸收波长(λmax)下的吸光度为20％以上，所述肟酯类光聚合引发剂(A2)在波长400nm下的吸光度相对于在波长300～400nm间的最大吸收波长(λmax)下的吸光度为10％以下，所述(E)拒液剂包含具有交联基团的含氟原子树脂。
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公开(公告)号：CN101135850B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200710182370.1
申请日：2003-08-05
Applicant: 三菱化学株式会社 , 日本合成化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/033 , G03F7/0045 , G03F7/031
Abstract: 本发明提供一种成像材料及其抗蚀剂成像法，该成像材料具有对青紫光区激光束高度敏感的青紫激光感光性抗蚀剂材料层，同时，即使当抗蚀剂材料层的膜较厚时，其感光性也不会下降。本发明提供一种具有青紫激光感光性抗蚀剂材料层的成像材料，该成像材料包括被加工基板和形成于所述基板上的青紫激光感光性抗蚀剂材料层，其中所述感光性抗蚀剂材料层的膜厚至少为10μm，并且在405nm的波长处具有每1μm膜厚至多为0.3的吸光度，本发明还提供一种抗蚀剂成像法，其中用波长为320nm至450nm的激光束对所述成像材料的感光性抗蚀剂材料层进行扫描曝光，随后进行显影处理。
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