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公开(公告)号：CN101243011A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200680029888.5
申请日：2006-08-11
Applicant: 三菱化学株式会社
CPC classification number: C30B29/403 , C30B9/12 , C30B29/406 , H01L21/0254 , H01L21/02573 , H01L21/02625 , H01L21/02628
Abstract: 本发明涉及一种第13族金属氮化物结晶的制造方法，其特征在于，具有如下工序：将含有周期表第13族金属元素和周期表第13族以外的金属元素的复合氮化物溶解在离子性溶剂中，制备溶液或熔融液，在该溶液或熔融液中进行第13族金属氮化物结晶的生长。按照该制造方法，能够在低压或常压下，以工业上廉价的方法制造品质优良的第13族金属氮化物结晶。
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公开(公告)号：CN101243011B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200680029888.5
申请日：2006-08-11
Applicant: 三菱化学株式会社
CPC classification number: C30B29/403 , C30B9/12 , C30B29/406 , H01L21/0254 , H01L21/02573 , H01L21/02625 , H01L21/02628
Abstract: 本发明涉及一种第13族金属氮化物结晶的制造方法，其特征在于，具有如下工序：将含有周期表第13族金属元素和周期表第13族以外的金属元素的复合氮化物溶解在离子性溶剂中，制备溶液或熔融液，在该溶液或熔融液中进行第13族金属氮化物结晶的生长。按照该制造方法，能够在低压或常压下，以工业上廉价的方法制造品质优良的第13族金属氮化物结晶。
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公开(公告)号：CN101010453A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200580029397.6
申请日：2005-07-04
Applicant: 三菱化学株式会社
CPC classification number: C30B17/00 , C30B9/14 , C30B15/00 , C30B29/403
Abstract: 本发明涉及周期表第13族金属氮化物结晶的制造方法，其中，边进行周期表第13族金属合金相和含有氮化物的熔融盐相的反应，边从反应场中除去含有周期表第13族金属以外的金属元素的副产物，使周期表第13族金属氮化物结晶成长。按照该方法，可以在低压或常压下制造优质的周期表第13族金属氮化物块状结晶。
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公开(公告)号：CN101010453B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200580029397.6
申请日：2005-07-04
Applicant: 三菱化学株式会社
CPC classification number: C30B17/00 , C30B9/14 , C30B15/00 , C30B29/403
Abstract: 本发明涉及周期表第13族金属氮化物结晶的制造方法，其中，边进行周期表第13族金属合金相和含有氮化物的熔融盐相的反应，边从反应场中除去含有周期表第13族金属以外的金属元素的副产物，使周期表第13族金属氮化物结晶成长。按照该方法，可以在低压或常压下制造优质的周期表第13族金属氮化物块状结晶。
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