公开(公告)号：CN101971494A

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200980103779.7

申请日：2009-03-03

Applicant: 三洋电机株式会社 ,  学校法人立命馆

Inventor： 玉野晃正 ,  冈田光广 ,  铃木健一郎

IPC: H03H9/24

CPC classification number: H03H9/2447 ,  H03H9/02244 ,  H03H2009/02519

Abstract: 提供一种即使不极端缩小尺寸也能够容易提高共振频率，且可以提高Q值的共振器。共振器(112)包括：作为基材的基板(12)；第一梁(2)，其两端通过固定连接部(14a、14b)固定于基板(12)，并且在中途部具有用于在垂直于第一梁(2)长度方向的方向上施加直线往复运动的振动输入部位(3)，以及第二梁(5a、5b)，其从第一梁(2)中不同于振动输入部位(3)的分支部位(4a、4b)向一方侧分支，并用于基于所述直线往复运动来产生扭转振动。而且，共振器(112)还具有用于产生扭转振动的多个第三梁(6a、6b)，第三梁(6a、6b)从多个分支部位(4a、4b)向与多个第二梁(5a、5b)相反的方向一侧延伸。

公开(公告)号：CN101971495A

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200980105881.0

申请日：2009-02-16

Applicant: 三洋电机株式会社 ,  学校法人立命馆

Inventor： 玉野晃正 ,  冈田光广 ,  铃木健一郎

IPC: H03H9/24 ,  B81B3/00

CPC classification number: H03H9/2436 ,  H03H3/0072 ,  H03H2009/02519

Abstract: 本发明提供一种微型机械谐振器(1)，其具备：高电介质基板(2)；扭转振动体(11)，其一端为固定于高电介质基板(2)的固定端，另一端为自由端。扭转振动体(11)为大致圆板状，且下表面为固定于基板(2)的固定端，上表面为未被固定的自由端。扭转振动体(11)以连结固定端端面的圆中心和自由端端面的圆中心的轴(扭转振动轴)为中心进行扭转振动。由此，能够实现制造容易且高Q值化的微型机械谐振器。