公开(公告)号：CN1725108A

公开(公告)日：2006-01-25

申请号：CN200510076504.2

申请日：2005-06-06

Applicant: 三洋电机株式会社 ,  三洋电机生物医药设备有限公司

Inventor： 冈野光夫 ,  系贺和义 ,  吉居正一 ,  三轮孝司

IPC: G03F7/20 ,  G03B21/00

CPC classification number: G03F7/70291

Abstract: 本发明提供一种光反应装置(1)，具有：LCD投影器(3)，通过向显示输入图像的LCD面板照射光，投影图像；试样设置台(16)，用于设置光反应性的试样；缩小投影透镜(13)，缩小来自LCD投影器(3)的投影光，使其成像在试样上；缩放调整机构(4)，用于调整成像在试样上的图像的投影倍率。缩放调整机构(4)，由用于调整LCD面板和缩小投影透镜(13)间的距离的第1调整基座(11)，和用于调整缩小投影透镜(13)和试样间的距离的第2调整基座(12)构成。由此，能够提供廉价且迅速地实现微型图案的制作的光反应装置。

公开(公告)号：CN100498539C

公开(公告)日：2009-06-10

申请号：CN200510076504.2

申请日：2005-06-06

Applicant: 三洋电机株式会社 ,  三洋电机生物医药设备有限公司

Inventor： 冈野光夫 ,  系贺和义 ,  吉居正一 ,  三轮孝司

IPC: G03F7/20 ,  G03B21/00

CPC classification number: G03F7/70291

Abstract: 本发明提供一种光反应装置(1)，具有：LCD投影器(3)，通过向显示输入图像的LCD面板照射光，投影图像；试样设置台(16)，用于设置光反应性的试样；缩小投影透镜(13)，缩小来自LCD投影器(3)的投影光，使其成像在试样上；缩放调整机构(4)，用于调整成像在试样上的图像的投影倍率。缩放调整机构(4)，由用于调整LCD面板和缩小投影透镜(13)间的距离的第1调整基座(11)，和用于调整缩小投影透镜(13)和试样间的距离的第2调整基座(12)构成。由此，能够提供廉价且迅速地实现微型图案的制作的光反应装置。