公开(公告)号：CN101025568A

公开(公告)日：2007-08-29

申请号：CN200710080298.1

申请日：2007-02-16

Applicant: 三洋化成工业株式会社

Inventor： 山本祐介 ,  大池拓郎 ,  足立慎弥

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/028 ,  G02F1/1339

Abstract: 本发明提供一种碱显影性良好的感光性树脂组合物以及具有优异的柔软性和优异的弹性回复特性的间隙控制材料。一种可碱显影的间隙控制材料用感光性树脂组合物(Q)，其包括：亲水性聚合物(A)、多官能(甲基)丙烯酸酯单体(B)、具有2个或2个以上水解性烷氧基的聚硅氧烷(C)和光自由基聚合引发剂(D)，优选上述(C)为以通式(1)所示的硅烷化合物(c1)和通式(2)所示的硅烷化合物(c2)中的1种或1种以上作为必须单体进行缩合而得到的缩合物(C1)的感光性树脂组合物。R2mSi(R1)(OR3)3－m(1)式中，R1表示1种或1种以上选自烷基的碳原子数为1－6的(甲基)丙烯酰氧基烷基、缩水甘油氧基烷基、巯基烷基和胺基烷基组的有机基团，R2表示碳原子数为1－12的脂肪族饱和烃基或碳原子数为6－12的芳香族烃基，R3表示碳原子数为1－4的烷基，m为0或1。R4nSi(OR5)4－n(2)式中，R4表示碳原子数为1－12的脂肪族饱和烃基或碳原子数为6－12的芳香族烃基，R5表示碳原子数为1－4的烷基，n为0－2的整数。