电子发射装置及其制备方法

    公开(公告)号:CN1763885A

    公开(公告)日:2006-04-26

    申请号:CN200510099621.0

    申请日:2005-08-30

    Inventor: 郑光锡

    CPC classification number: H01J3/022 H01J9/025

    Abstract: 本发明公开了一种电子发射装置及其制备方法。该电子发射装置包括:相互朝向设置的第一基板和第二基板;形成在第一基板上的阴极;电连接到阴极的电子发射区域;形成在第一基板上并具有用于显露电子发射区域的开口的绝缘层;以及形成在绝缘层上的栅电极。电子发射区域包括形成在阴极上的至少一个多孔氧化铝模板,并且电子发射区域竖直生长于多孔氧化铝模板中。制备该电子发射装置的方法包括使用阳极氧化在阴极上形成多孔氧化铝模板,通过使用化学气相沉积而且注入载气和在第一基板和阴极之间施加电压来形成电子发射区域,在多孔氧化铝模板中生长电子发射材料。

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