公开(公告)号：CN101307444A

公开(公告)日：2008-11-19

申请号：CN200810086825.4

申请日：2008-03-19

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 曹奎哲 ,  金广男

IPC: C23F1/14 ,  C23C30/00

CPC classification number: C23F1/18 ,  C23F1/26 ,  H01L21/32134 ,  H01L29/458 ,  H01L29/4908 ,  H01L29/66765 ,  H01L51/0023

Abstract: 本实施例涉及一种蚀刻剂和利用该蚀刻剂制造包括薄膜晶体管的电子装置的方法。该蚀刻剂包括氟离子(F－)源、过氧化氢(H2O2)、硫酸盐、磷酸盐、唑类化合物和溶剂。该蚀刻剂和包括薄膜晶体管的电子装置的制造方法可批量地蚀刻包括铜层和钛或钛合金层的多层膜，并可以以高产量提供具有良好的图案轮廓的薄膜晶体管。当对该蚀刻剂进行再利用时，可保持均匀的蚀刻性能，且蚀刻剂的更换周期长，因此可节约成本。

公开(公告)号：CN101261956A

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：CN200810082619.6

申请日：2008-02-27

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 曹奎哲 ,  金昌树 ,  咸允植

IPC: H01L21/82 ,  H01L21/60

CPC classification number: H01L51/56 ,  H01L27/3276 ,  H01L51/5218

Abstract: 本发明公开了一种制造显示装置的方法，该方法减少了焊盘电极的损坏。该方法包括以下步骤：在第一基底上的像素区中形成薄膜晶体管，并同时在第一基底上的焊盘区中形成焊盘电极；形成连接到薄膜晶体管的第一像素电极，并同时形成覆盖焊盘电极的焊盘保护层；通过去除焊盘保护层暴露焊盘电极。

公开(公告)号：CN101383374A

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200810214654.9

申请日：2008-09-01

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 曹奎哲 ,  金广男

IPC: H01L27/32 ,  H01L23/522

CPC classification number: H01L27/3276 ,  H01L27/3246 ,  H01L27/3279

Abstract: 本发明公开了一种有机发光显示装置，该有机发光显示装置包括：基底，具有显示区；薄膜晶体管(TFT)，设置在基底的显示区中；电极电源线，设置在基底的显示区的外部；第一绝缘层，覆盖TFT，并具有第一开口部分，其中，通过第一开口部分暴露电极电源线的一部分或整个顶表面；第二绝缘层，设置在第一绝缘层上并具有第二开口部分，其中，通过第二开口部分暴露第一绝缘层的第一开口部分，使得第二绝缘层不与电极电源线接触。