Patent search ap:("三星电子株式会社" OR "首尔大学校产学协力团") AND inv:"申禹燮" Page 1

1.

发明公开
加热板和包括该加热板的衬底处理装置审中-实审

公开(公告)号：CN117995711A

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202310721157.2

申请日：2023-06-16

Applicant: 三星电子株式会社 , 首尔大学校产学协力团

Inventor： 赵哲敏 , 高承焕 , 申禹燮 , 金珉佑 , 吴灵桓

IPC: H01L21/67 , G03F7/16 , H05B3/02 , H05B3/20

Abstract: 一种衬底处理装置，包括：腔室，提供被配置为处理衬底的空间；以及加热板，布置在腔室内，该加热板包括衬底板和液态金属图案，衬底板被配置为支撑衬底并具有从衬底板的中心沿径向方向顺序地布置的第一区域、第二区域和第三区域，液态金属图案在衬底板上被图案化并在第一区域、第二区域和第三区域上延伸，该衬底板是可拉伸的。

Patent Agency Ranking