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公开(公告)号：CN114073492A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202110960778.7
申请日：2021-08-20
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种生物传感器包括周期性晶体结构第一层和非晶晶体结构第二层。第一和第二层由杨氏模量在0.4和2.0MPa之间的生物相容性硅树脂形成。该生物传感器在40°的视场内具有小于15nm的压力相关NIR共振峰移，并且具有0.38和2.6nm/mm Hg之间的光学压力灵敏度。生物传感器可以通过形成具有周期性非晶晶体第一层和非晶晶体第二层的3D晶体结构来形成。3D晶体结构的空隙用生物相容的硅树脂/聚二甲基硅氧烷材料填充。3D晶体结构被去除以形成具有第一体积的非晶排列的空隙和第二体积的周期性排列的空隙的反转结构。
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