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公开(公告)号:CN117374092A
公开(公告)日:2024-01-09
申请号:CN202310839733.3
申请日:2023-07-10
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L27/148
Abstract: 一种图像传感器包括双竖直栅极和器件隔离层,双竖直栅极包括在第一方向上通过隔离区域彼此隔开并且竖直地延伸至衬底中的两个竖直部分、被配置为在两个竖直部分上将两个竖直部分彼此连接的连接部分,器件隔离层在竖直部分的在第一方向上的侧表面上,其中,两个竖直部分中的每一个包括上竖直部分和下竖直部分,上竖直部分的侧壁与在第一方向上延伸的线形成第一倾角,下竖直部分的侧壁与在第一方向上延伸的线形成第二倾角,并且第一倾角与第二倾角不同。