公开(公告)号：CN109612999A

公开(公告)日：2019-04-12

申请号：CN201811101527.8

申请日：2018-09-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 许诺 ,  陈帆 ,  金宗哲 ,  齐伟艺 ,  王敬 ,  崔佑晟 ,  鲁扬

IPC: G01N21/88 ,  G06N3/04

Abstract: 一种用于重建半导体晶圆的晶圆图的系统，包括：处理器；和存储器，其具有被存储在其上的指令，当由处理器执行该指令时使得处理器：接收在晶圆的稀疏采样位置处的晶圆的测试数据，基于探测掩模选择稀疏采样位置；和通过利用Zernike多项式对在晶圆的稀疏采样位置处的测试数据执行压缩感测来计算重建晶圆图。

公开(公告)号：CN109612999B

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN201811101527.8

申请日：2018-09-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 许诺 ,  陈帆 ,  金宗哲 ,  齐伟艺 ,  王敬 ,  崔佑晟 ,  鲁扬

IPC: G01N21/88 ,  G06N3/04

Abstract: 一种用于重建半导体晶圆的晶圆图的系统，包括：处理器；和存储器，其具有被存储在其上的指令，当由处理器执行该指令时使得处理器：接收在晶圆的稀疏采样位置处的晶圆的测试数据，基于探测掩模选择稀疏采样位置；和通过利用Zernike多项式对在晶圆的稀疏采样位置处的测试数据执行压缩感测来计算重建晶圆图。