公开(公告)号：CN106601642B

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN201610899136.X

申请日：2016-10-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴民哲 ,  李济铉 ,  高汀勋 ,  金锳九 ,  李根浩

IPC: H01L21/66 ,  G01B15/02 ,  G06T7/00 ,  G06T5/00 ,  G06T5/50

Abstract: 公开了一种测量厚度的方法、处理图像的方法和执行其的电子系统。可以基于结构的原始图像来测量在结构中的第一层的厚度。可以在原始图像中识别第一层的第一边界。可以通过基于第一边界将原始图像转换为第一图像并且基于对第一图像滤波生成第二图像来识别在原始图像中基本难以辨识的第二边界。可以基于将原始图像的局部图像部分调整为使第一边界的标识与轴线对准来生成第一图像，使得第一图像包括与轴线基本平行地延伸的第一边界的标识。可以从第二图像识别第二边界，可以基于识别的第一边界与第二边界来确定层的厚度。

公开(公告)号：CN106601642A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201610899136.X

申请日：2016-10-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴民哲 ,  李济铉 ,  高汀勋 ,  金锳九 ,  李根浩

IPC: H01L21/66 ,  G01B15/02 ,  G06T7/00 ,  G06T5/00 ,  G06T5/50

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G06T5/002 ,  G06T7/12 ,  G06T7/62 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20024 ,  G06T2207/20048 ,  G06T2207/20216 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  G01B15/02 ,  G06T5/50

Abstract: 公开了一种测量厚度的方法、处理图像的方法和执行其的电子系统。可以基于结构的原始图像来测量在结构中的第一层的厚度。可以在原始图像中识别第一层的第一边界。可以通过基于第一边界将原始图像转换为第一图像并且基于对第一图像滤波生成第二图像来识别在原始图像中基本难以辨识的第二边界。可以基于将原始图像的局部图像部分调整为使第一边界的标识与轴线对准来生成第一图像，使得第一图像包括与轴线基本平行地延伸的第一边界的标识。可以从第二图像识别第二边界，可以基于识别的第一边界与第二边界来确定层的厚度。