公开(公告)号：CN102194730B

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201110064115.3

申请日：2011-03-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 罗秉国 ,  尹泰植 ,  李建衡 ,  金贤俊 ,  金赫基 ,  金起斗

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  H01L21/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67376 ,  H01L21/67389

Abstract: 本发明提供一种衬底转移容器、气体净化监视工具及具有其的半导体制造设备。该衬底转移容器，包括壳体，所述壳体包括在具有内部环境的气体腔内设置的多个衬底槽。每个衬底槽容纳经受衬底制造处理的衬底，该气体腔的内部环境选择性与外部环境密封。壳体处的检测单元被构造和设置成检测气体腔的内部环境的环境属性，并响应地产生检测信号。壳体处的信号传送模块被构造成无线传送从检测单元接收的检测信号。

公开(公告)号：CN102194730A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110064115.3

申请日：2011-03-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 罗秉国 ,  尹泰植 ,  李建衡 ,  金贤俊 ,  金赫基 ,  金起斗

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  H01L21/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67376 ,  H01L21/67389

Abstract: 本发明提供一种衬底转移容器、气体净化监视工具及具有其的半导体制造设备。该衬底转移容器，包括壳体，所述壳体包括在具有内部环境的气体腔内设置的多个衬底槽。每个衬底槽容纳经受衬底制造处理的衬底，该气体腔的内部环境选择性与外部环境密封。壳体处的检测单元被构造和设置成检测气体腔的内部环境的环境属性，并响应地产生检测信号。壳体处的信号传送模块被构造成无线传送从检测单元接收的检测信号。