公开(公告)号：CN101673056A

公开(公告)日：2010-03-17

申请号：CN200910173084.8

申请日：2009-09-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金桢珉 ,  裴祥佑 ,  李义国 ,  张尚敦

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/70558

Abstract: 提供一种无掩模平版印刷设备和使用其补偿旋转对准误差的方法。无掩模平版印刷设备可包括：光源，提供曝光束；光调制器，根据曝光图案调制曝光束；曝光光学系统，将光调制器所提供的调制的曝光束以束点阵列的形式传送到基底上；控制单元，将束点阵列中的一些行关闭，以使整个束点阵列上的曝光能量分布均匀。使用无掩模平版印刷设备补偿对准误差的方法可包括：提供曝光束；根据曝光图案调制曝光束；将光调制器所提供的调制的曝光束以束点阵列的形式传送到基底上；将束点阵列中的一些行关闭，以使整个束点阵列上的曝光能量分布均匀。