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公开(公告)号：CN101303274A
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200810142839.3
申请日：2008-02-15
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G03F1/82 , G01N2015/0687
Abstract: 本发明提供了污染物分析单元及其方法以及分划板清洁系统，用于在清洁物体后检查残留在检查物体(例如，分划板)的目标侧上的污染物。将目标侧浸泡在溶液中后，可以在预定时间之后从中提取取样液体并进行分析。
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