用于收集颗粒的单元和方法以及包括该单元的设备

    公开(公告)号:CN101308769A

    公开(公告)日:2008-11-19

    申请号:CN200810003755.1

    申请日:2008-01-22

    Inventor: 金基洙 金重铉

    CPC classification number: C23C16/4412 B01D45/02 B01D45/04 H01L21/67103

    Abstract: 本发明提供用于收集颗粒的单元和方法以及包括该单元的设备。一种收集单元包括:排出管,提供工艺气体流过其的通路;捕集器,安装在该排出管上;以及收集线路,连接到该捕集器。该捕集器具有该处理中的颗粒被引入该捕集器的入口,而且该收集线路穿透该排出管的一部分,以向着该排出管的外部区域延伸。还提供了一种包括该收集单元的设备以及利用该收集单元收集颗粒的方法。

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