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公开(公告)号:CN118628708A
公开(公告)日:2024-09-10
申请号:CN202410067362.6
申请日:2024-01-16
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G06V10/24 , G06V10/94 , G06V10/764 , G06F16/532 , G06F16/55
Abstract: 一种图案校正方法,包括:从数据库获取包括全拍照坐标和未对准值的全拍照数据;针对全拍照数据,基于悬臂梁分析方法来计算全拍照数据的变形系数;基于全拍照数据,沿在位线方向上的第一轴提取第一坐标数据,并且沿在字线方向上的第二轴提取第二坐标数据;基于第一坐标数据和第二坐标数据对全拍照数据进行分类;从全拍照数据中去除异常值。