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公开(公告)号：CN119337804A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202410716467.X
申请日：2024-06-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G06F30/392 , H01L21/66 , G06F30/398
Abstract: 本公开涉及用于变换测量数据的装置、方法和系统。用于变换测量数据的示例装置包括：通信器，其被配置为接收第一测量数据，该第一测量数据包括对其执行了化学机械抛光(CMP)工艺的半导体芯片上的台阶高度值，并且接收布局数据，该布局数据包括半导体芯片中所包括的布局；以及处理器，其被配置为基于布局数据将第一测量数据变换为第二测量数据，该第二测量数据包括沉积有金属的半导体芯片的台阶高度值。
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