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公开(公告)号：CN1231612C
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：CN99120400.X
申请日：1999-09-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: C23F1/02
CPC classification number: H01L21/67253 , C23F1/02 , C23F1/08
Abstract: 一种蚀刻系统及方法，利用一个单一定量的蚀刻剂蚀刻多个基板上的涂层而形成预定的图案时，根据基板的累积处理数目变化而采用不同的蚀刻时间。此系统包括：一蚀刻设备，其包括为了利用一个单一定量的蚀刻剂蚀刻多个基板上的涂层，从而形成预定的图案的蚀刻处理部和为了临时储藏内装有基板的卡匣的装载部；及一控制部，控制上述蚀刻设备的作业过程，该蚀刻设备是根据基板的累积处理数目不同，而采用不同的蚀刻时间。
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公开(公告)号：CN1161636C
公开(公告)日：2004-08-11
申请号：CN99122420.5
申请日：1999-10-02
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G05B19/41805 , G02F2001/133354 , Y02P90/04 , Y02P90/14 , Y10T29/49829
Abstract: 一种装配工件的自动系统和方法。该系统包括第一储存器和第二储存器，第一储存器存储有缺陷等级的许多第一基片，第二储存器中有与某第一基片配对的许多第二基片，及许多缺陷等级。第二储存器接收第一基片等级信息并选择与第一基片等级对应的第二基片。接收第一基片并确定该第一基片等级来装配工件。传送第二基片等级信息并确定是否有与接收的第一基片同等级的第二基片。如存在则选择第二基片并将其放在新盒中。第一基片和第二基片同时输送到各生产线。
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公开(公告)号：CN1254106A
公开(公告)日：2000-05-24
申请号：CN99122420.5
申请日：1999-10-02
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G05B19/41805 , G02F2001/133354 , Y02P90/04 , Y02P90/14 , Y10T29/49829
Abstract: 一种装配工件的自动系统和方法。该系统包括第一储存器和第二储存器,第一储存器存储有缺陷等级的许多第一基片,第二储存器中有与某第一基片配对的许多第二基片,及许多缺陷等级。第二储存器接收第一基片等级信息并选择与第一基片等级对应的第二基片。接收第一基片并确定该第一基片等级来装配工件。传送第二基片等级信息并确定是否有与接收的第一基片同等级的第二基片。如存在则选择第二基片并将其放在新盒中。第一基片和第二基片同时输送到各生产线。
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公开(公告)号：CN1252457A
公开(公告)日：2000-05-10
申请号：CN99120400.X
申请日：1999-09-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: C23F1/00
CPC classification number: H01L21/67253 , C23F1/02 , C23F1/08
Abstract: 一种蚀刻系统及方法,利用一个单一定量的蚀刻剂蚀刻多个基板上的涂层而形成预定的图案时,根据基板的累积处理数目变化而采用不同的蚀刻时间。此系统包括:一蚀刻设备,其包括为了利用一个单一定量的蚀刻剂蚀刻多个基板上的涂层,从而形成预定的图案的蚀刻处理部和为了临时储藏内装有基板的卡匣的装载部;及一控制部,控制上述蚀刻设备的作业过程,该蚀刻设备是根据基板的累积处理数目不同,而采用不同的蚀刻时间。
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