纳米压印平版印刷设备和方法

    公开(公告)号:CN103149796A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201210558404.3

    申请日:2012-12-06

    CPC classification number: G03F7/0002 B41K3/00 B82Y10/00 B82Y40/00

    Abstract: 本发明公开纳米压印平版印刷设备和方法。一种纳米压印平版印刷设备包括印模,该印模包括主体,该主体具有第一表面和第二表面,该第一表面具有要在衬底上压印的图案,并且该第二表面具有至少一个极子和至少一个致动器,该至少一个致动器被配置为向该至少一个极子施加力,以将该主体变形。该设备包括固定级,该固定级被配置为支撑被从印模转印图案的衬底。该设备进一步包括控制器,该控制器被配置为驱动该至少一个致动器以向该至少一个极子施加力,以将该印模变形,并且校正该印模和该衬底之间的对齐误差。

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