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公开(公告)号：CN103858342A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201280049624.1
申请日：2012-08-27
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H03H9/17
CPC classification number: H03H9/02102 , H03H9/02149 , H03H9/1014 , H03H9/173 , H03H9/564 , H03H9/587 , Y10T29/42
Abstract: 提供了一种体声波谐振器（BAWR）。所述BAWR可以包括第一电极、设置在第一电极上的压电层以及设置在压电层上的第二电极。在各个方面，第一电极、压电层和第二电极中的至少一个由碳基材料形成。
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公开(公告)号：CN103733515A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280038521.5
申请日：2012-04-03
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H03H9/02086 , H03H9/0211 , H03H9/02125 , H03H9/132
Abstract: 提供了一种体声波谐振器（BAWR）。BAWR可以包括体声波谐振单元和用于修正由体声波谐振单元产生的反谐振频率的反谐振频率修正单元。
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公开(公告)号：CN103534943B
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201280022984.2
申请日：2012-06-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H03H9/17
CPC classification number: H01L41/107 , H03H9/02102 , H03H9/0211 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/175
Abstract: 提供了一种体声波谐振器（BAWR）。BAWR可以包括设置在基底上的空气空腔、包括压电层的体声波谐振单元以及反射从压电层产生的谐振频率的波的反射层。
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公开(公告)号：CN103733515B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201280038521.5
申请日：2012-04-03
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H03H9/02086 , H03H9/0211 , H03H9/02125 , H03H9/132
Abstract: 提供了一种体声波谐振器（BAWR）。BAWR可以包括体声波谐振单元和用于修正由体声波谐振单元产生的反谐振频率的反谐振频率修正单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103858342B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201280049624.1
申请日：2012-08-27
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H03H9/17
CPC classification number: H03H9/02102 , H03H9/02149 , H03H9/1014 , H03H9/173 , H03H9/564 , H03H9/587 , Y10T29/42
Abstract: 提供了一种体声波谐振器（BAWR）。所述BAWR可以包括第一电极、设置在第一电极上的压电层以及设置在压电层上的第二电极。在各个方面，第一电极、压电层和第二电极中的至少一个由碳基材料形成。
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公开(公告)号：CN103534943A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201280022984.2
申请日：2012-06-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H03H9/17
CPC classification number: H01L41/107 , H03H9/02102 , H03H9/0211 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/175
Abstract: 提供了一种体声波谐振器（BAWR）。BAWR可以包括设置在基底上的空气空腔、包括压电层的体声波谐振单元以及反射从压电层产生的谐振频率的波的反射层。
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公开(公告)号：CN108649921B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN201810455217.X
申请日：2012-06-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H03H9/17
Abstract: 提供了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基底；空气空腔，设置在第一电极之下；体声波谐振单元，设置在空气空腔之上，并且包括第一电极、第二电极和设置在第一电极和第二电极之间的压电层；第一反射层，设置在第二反射层与第二电极之间；第二反射层，设置在第一反射层与空气空腔之间，其中，第二反射层具有与第一反射层不同的声阻抗，其中，第一反射层包括用于补偿体声波谐振单元的频率温度系数TCF的至少一种材料，使得所述第一反射层包括：材料，被构造为在反射层中具有设定的较低的声阻抗特性；材料，被构造为提供被设置为将体声波谐振单元的TCF补偿为近似为零的设置的TCF补偿特性。
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公开(公告)号：CN108649921A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810455217.X
申请日：2012-06-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H03H9/17
CPC classification number: H01L41/107 , H03H9/02102 , H03H9/0211 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/175
Abstract: 提供了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基底；空气空腔，设置在第一电极之下；体声波谐振单元，设置在空气空腔之上，并且包括第一电极、第二电极和设置在第一电极和第二电极之间的压电层；第一反射层，设置在第二反射层与第二电极之间；第二反射层，设置在第一反射层与空气空腔之间，其中，第二反射层具有与第一反射层不同的声阻抗，其中，第一反射层包括用于补偿体声波谐振单元的频率温度系数TCF的至少一种材料，使得所述第一反射层包括：材料，被构造为在反射层中具有设定的较低的声阻抗特性；材料，被构造为提供被设置为将体声波谐振单元的TCF补偿为近似为零的设置的TCF补偿特性。
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公开(公告)号：CN103988427A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201280058899.1
申请日：2012-11-21
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H03H9/17
CPC classification number: H03H9/173 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H2003/021 , Y10T29/42
Abstract: 公开了一种体声波谐振器(BAWR)。BAWR可以包括具有第一电极、第二电极和压电层的体声波谐振单元。所述压电层设置在第一电极和第二电极之间。在距所述体声波谐振单元的中部的一定距离处形成空气边缘。
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