二氧化硅薄膜的生产设备及其所用的生产方法

    公开(公告)号:CN1115426C

    公开(公告)日:2003-07-23

    申请号:CN98102663.X

    申请日:1998-06-26

    Inventor: 申东彧 郑善太

    CPC classification number: C23C16/56 C23C16/402 C23C16/453

    Abstract: 一种生产二氧化硅薄膜的设备,该设备包括一含有一装载多片晶片的装载部件用于移动传输所装载的晶片的传送器、一设于传送器之上用以产生火焰在多片晶片上淀积二氧化硅烟灰的淀积部件、一邻近淀积部件用于从二氧化硅烟灰中去除水分的煅烧部件、以及一邻近煅烧部件用于使煅烧的二氧化硅烟灰致密形成一层二氧化硅薄膜的烧结部件。以此就能使二氧化硅薄膜的生产工艺连续进行,提高了生产率。

Patent Agency Ranking