公开(公告)号：CN101746717A

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200910246780.7

申请日：2009-12-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 王晓峰 ,  尹洪植 ,  吕寅硕

IPC: B82B3/00 ,  H01L21/60

CPC classification number: C23C16/0281 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/162 ,  C23C16/26 ,  H01L51/0002 ,  H01L51/0048

Abstract: 本发明提供形成碳纳米管的方法，包括：在导电区域的侧壁上形成催化剂金属层，如金属图案或金属氮化物图案。多个碳纳米管从催化剂金属层生长。这些碳纳米管可以从催化剂金属层的侧壁生长。然后，多个碳纳米管暴露到有机溶剂。将碳纳米管暴露到有机溶剂的步骤可以由给多个碳纳米管施加离心力的步骤执行。作为选择，该暴露步骤可以包括给多个碳纳米管施加离心力，而同时将多个碳纳米管暴露到有机溶剂。

公开(公告)号：CN101746717B

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN200910246780.7

申请日：2009-12-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 王晓峰 ,  尹洪植 ,  吕寅硕

IPC: B82B3/00 ,  H01L21/60

CPC classification number: C23C16/0281 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/162 ,  C23C16/26 ,  H01L51/0002 ,  H01L51/0048

Abstract: 本发明提供形成碳纳米管的方法，包括：在导电区域的侧壁上形成催化剂金属层，如金属图案或金属氮化物图案。多个碳纳米管从催化剂金属层生长。这些碳纳米管可以从催化剂金属层的侧壁生长。然后，多个碳纳米管暴露到有机溶剂。将碳纳米管暴露到有机溶剂的步骤可以由给多个碳纳米管施加离心力的步骤执行。作为选择，该暴露步骤可以包括给多个碳纳米管施加离心力，而同时将多个碳纳米管暴露到有机溶剂。