公开(公告)号：CN1725074A

公开(公告)日：2006-01-25

申请号：CN200510083347.8

申请日：2005-07-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李荣植 ,  金基铉 ,  赵弘济 ,  林官泽 ,  李在敬

IPC: G02F1/1333 ,  B05B3/00

Abstract: 本发明公开了一种基板处理设备及使用其的基板处理方法，该基板处理设备包括处理溶液分配器、传送单元和控制器，处理溶液分配器在基板上提供处理溶液，传送单元传送基板，而控制器控制传送单元使得基板以倾斜状态被传送。相对于平行于基板的传送方向延伸的轴旋转基板使其向侧向倾斜。该旋转可以以交替方式在两个方向进行。该设备可以不考虑基板的尺寸而用于均匀地处理基板。

公开(公告)号：CN1095963C

公开(公告)日：2002-12-11

申请号：CN96105069.1

申请日：1996-04-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金容虎 ,  李荣植 ,  田熙

IPC: F16K31/02

CPC classification number: G05D16/2013

Abstract: 一种比例电磁阀控制装置，可应用于各种系统中的单向阀，例如重型设备的液压系统，自动传输系统和车辆的自动注油系统，并按照电流指令精确地控制流入比例电磁阀中的负载电流。所述比例电磁阀装置包括：由开关晶体管，比例电磁阀和电流检测电阻构成的主电路；以及由电流指令检测电路，偏置电路，限制电流指令电路，电流检测电路，比例积分控制器，脉宽调制比较器以及输出电路构成的控制电路。

公开(公告)号：CN101615576B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN200910160136.8

申请日：2005-07-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李荣植 ,  金基铉 ,  赵弘济 ,  林官泽 ,  李在敬

IPC: H01L21/00 ,  B05B13/02

CPC classification number: H01L21/6708 ,  B05B13/0221

Abstract: 本发明公开了一种基板处理设备及使用其的基板处理方法，该基板处理设备包括处理溶液分配器、传送单元和控制器，处理溶液分配器在基板上提供处理溶液，传送单元传送基板，而控制器控制传送单元使得基板以倾斜状态被传送。相对于平行于基板的传送方向延伸的轴旋转基板使其向侧向倾斜。该旋转可以以交替方式在两个相反方向进行。该设备可以不考虑基板的尺寸而用于均匀地处理基板。

公开(公告)号：CN1104828A

公开(公告)日：1995-07-05

申请号：CN94115404.1

申请日：1994-08-17

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李荣植 ,  赵显敏 ,  池京夏 ,  崔洛春

IPC: H05B41/29 ,  H03K17/13

CPC classification number: H02M7/53871 ,  H05B41/2851 ,  Y02B20/186 ,  Y02B70/1441

Abstract: 用于进行谐振模转换器的零压开关的控制器以及采用这种控制器的电子镇流器，包括功率控制器，关断检测电路和降压电路，并在开关元件的电压为零时进行开关操作，从而防止了额外的功耗，提高了效率并降低了噪声。

公开(公告)号：CN101615576A

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200910160136.8

申请日：2005-07-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李荣植 ,  金基铉 ,  赵弘济 ,  林官泽 ,  李在敬

IPC: H01L21/00 ,  B05B13/02

CPC classification number: H01L21/6708 ,  B05B13/0221

Abstract: 本发明公开了一种基板处理设备及使用其的基板处理方法，该基板处理设备包括处理溶液分配器、传送单元和控制器，处理溶液分配器在基板上提供处理溶液，传送单元传送基板，而控制器控制传送单元使得基板以倾斜状态被传送。相对于平行于基板的传送方向延伸的轴旋转基板使其向侧向倾斜。该旋转可以以交替方式在两个相反方向进行。该设备可以不考虑基板的尺寸而用于均匀地处理基板。

公开(公告)号：CN100543537C

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200510083347.8

申请日：2005-07-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李荣植 ,  金基铉 ,  赵弘济 ,  林官泽 ,  李在敬

IPC: G02F1/1333 ,  B05B3/00

Abstract: 本发明公开了一种基板处理设备及使用其的基板处理方法，该基板处理设备包括处理溶液分配器、传送单元和控制器，处理溶液分配器在基板上提供处理溶液，传送单元传送基板，而控制器控制传送单元使得基板以倾斜状态被传送。相对于平行于基板的传送方向延伸的轴旋转基板使其向侧向倾斜。该旋转可以以交替方式在两个相反方向进行。该设备可以不考虑基板的尺寸而用于均匀地处理基板。

公开(公告)号：CN100410753C

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200510083782.0

申请日：2005-07-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李荣植

IPC: G02F1/1333

Abstract: 一种基板处理设备包括：用于移动基板的移动机构和一种高压喷射单元。该高压喷射元件包括：具有相对于基板移动方向横向放置的第一喷嘴部分的第一高压喷射器，以及具有平行于第一喷嘴部分的第二喷嘴部分的第二高压喷射器。

公开(公告)号：CN1069765C

公开(公告)日：2001-08-15

申请号：CN96107391.8

申请日：1996-04-27

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金容虎 ,  李荣植

IPC: G05F1/613 ,  H02M3/08

CPC classification number: G05F1/613

Abstract: 一种电压平衡电路和方法，用于从一个单一的直流电源向一个赋予电源一个正极性负载和一个负极性负载的电路，例如集成电路，提供电能，尽管负载的大小发生变化仍能保证正极性负载电压和负极性负载电压的大小保持基本相等。一个分压器电路提供了一个等于总电源电压一半的基准电压。每个正极性和负极性负载的两端提供有电容器。

公开(公告)号：CN1043393C

公开(公告)日：1999-05-12

申请号：CN96113292.2

申请日：1996-08-11

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李荣植 ,  闵丙云 ,  金容虎

IPC: H02H9/02 ,  H02P5/165

CPC classification number: H02P7/288 ,  H02H7/0833 ,  H02P2205/01 ,  Y10S388/903

Abstract: 电动机的控制电路，包括电流指令电路，产生比例于所选电动机速度的电流指令信号；比较器产生比较器输出信号，其正比于在电流指令信号和与电动机电流成比例的信号间的信号差，比较器的输出端接到逻辑电路，其产生有比例于比较器输出信号变化占空比的控制信号；驱动电路，有施加所说控制信号的输入端和接到该电动机的输出端；电流指令控制电路，有施加电流控制信号的输入端和施加电流指令信号的输出端，其产生比例于控制信号的信号且当它小于电流指令信号时减小电流指令信号。

公开(公告)号：CN1716023A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510083782.0

申请日：2005-07-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李荣植

IPC: G02F1/1333

Abstract: 一种基板处理设备包括：用于移动基板的移动机构和一种高压喷射单元。该高压喷射元件包括：具有相对于基板移动方向横向放置的第一喷嘴部分的第一高压喷射器，以及具有平行于第一喷嘴部分的第二喷嘴部分的第二高压喷射器。