公开(公告)号：CN108807207B

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN201810337204.2

申请日：2018-04-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李茂列 ,  姜孝范 ,  李俊成 ,  丁载樑 ,  许荣珉

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/683

Abstract: 一种颗粒检测装置，包括：卡盘台，晶片被配置为落座在卡盘台上；穿过卡盘台的成形为闭合同心曲线的第一吸附孔和第二吸附孔；第一吸附模块，其在卡盘台下方连接到第一吸附孔并被配置为提供真空压力；第二吸附模块，其在卡盘台下方连接到第二吸附孔并被配置为提供真空压力；压力计，其被配置为测量第一吸附孔和第二吸附孔的真空压力；以及检测模块，其被配置为从压力计接收第一吸附孔和第二吸附孔的真空压力，并基于接收到的真空压力检测晶片是否被固定以及是否存在颗粒。第一吸附模块和第二吸附模块顺序地将真空压力提供到第一吸附孔和第二吸附孔。

公开(公告)号：CN108807207A

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201810337204.2

申请日：2018-04-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李茂列 ,  姜孝范 ,  李俊成 ,  丁载樑 ,  许荣珉

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67288 ,  H01L21/6838 ,  H01L22/12

Abstract: 一种颗粒检测装置，包括：卡盘台，晶片被配置为落座在卡盘台上；穿过卡盘台的成形为闭合同心曲线的第一吸附孔和第二吸附孔；第一吸附模块，其在卡盘台下方连接到第一吸附孔并被配置为提供真空压力；第二吸附模块，其在卡盘台下方连接到第二吸附孔并被配置为提供真空压力；压力计，其被配置为测量第一吸附孔和第二吸附孔的真空压力；以及检测模块，其被配置为从压力计接收第一吸附孔和第二吸附孔的真空压力，并基于接收到的真空压力检测晶片是否被固定以及是否存在颗粒。第一吸附模块和第二吸附模块顺序地将真空压力提供到第一吸附孔和第二吸附孔。