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发明公开
TEG电路、半导体器件、以及TEG电路的测试方法审中-公开

公开(公告)号：CN117890741A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202310841960.X

申请日：2023-07-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李清源 , 秋教秀 , 朴永雨 , 李斘勋 , 崔镇宇

IPC: G01R31/26 , G01R31/27

Abstract: 实施例提供了一种测试元件组(TEG)电路，包括：第一焊盘，被配置为接收要供应的测试电压；放大器，包括连接到第一焊盘的第一输入端子、连接到测试晶体管的第一端子的第二输入端子、以及电连接到第二输入端子的输出端子；可变电阻器，包括连接到放大器的输出端子的一个端子和连接到测试晶体管的第一端子的另一端子；以及栅极驱动电路，向测试晶体管的栅极供应栅极电压。

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