公开(公告)号：CN105651463A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201510675581.3

申请日：2015-10-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金成柱 ,  金镇平 ,  徐度铉 ,  李在必 ,  李显勋 ,  黃星朝

IPC: G01M3/04 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种用于感测光刻设备的液体泄漏的设备和方法，其可通过对提供给极紫外光产生设备的收集镜的冷却水的泄漏进行感测来防止收集镜受到污染。所述液体泄漏感测设备包括收集镜模块、配置为向所述收集镜模块的一个表面提供冷却水的冷却单元、配置为向所述冷却单元提供水溶性气体的气体供应单元以及配置为对泄漏到所述冷却单元外部的水溶性气体进行感测的感测单元。

公开(公告)号：CN105651463B

公开(公告)日：2019-09-24

申请号：CN201510675581.3

申请日：2015-10-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金成柱 ,  金镇平 ,  徐度铉 ,  李在必 ,  李显勋 ,  黃星朝

IPC: G01M3/04 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种用于感测光刻设备的液体泄漏的设备和方法，其可通过对提供给极紫外光产生设备的收集镜的冷却水的泄漏进行感测来防止收集镜受到污染。所述液体泄漏感测设备包括收集镜模块、配置为向所述收集镜模块的一个表面提供冷却水的冷却单元、配置为向所述冷却单元提供水溶性气体的气体供应单元以及配置为对泄漏到所述冷却单元外部的水溶性气体进行感测的感测单元。