公开(公告)号：CN1157897A

公开(公告)日：1997-08-27

申请号：CN96122627.7

申请日：1996-10-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李中善 ,  柳在俊 ,  李建衡 ,  文常英

IPC: F24F3/16 ,  F24F13/08

CPC classification number: F24F3/161

Abstract: 提供一种空气流控制装置及一种洁净室。气流控制装置具有一个高效颗粒过滤器、一个具有底面中心孔的外盖，以及一个流向控制器，该控制器具有一根穿透所述孔的轴，并位于颗粒过滤器和外盖之间。洁净室具有安装在一个进口内的上述气流控制装置。因此，由于被引入一个需要预定净度水平的场所(例如一个洁净室)的气流广阔地被分散，洁净室内部的温差减小，并且相对湿度成为最佳。从而也能降低洁净室的静电水平。

公开(公告)号：CN1138101C

公开(公告)日：2004-02-11

申请号：CN96122627.7

申请日：1996-10-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李中善 ,  柳在俊 ,  李建衡 ,  文常英

IPC: F24F3/16 ,  F24F13/08

CPC classification number: F24F3/161

Abstract: 提供一种空气流控制装置及一种洁净室。气流控制装置具有一个高效颗粒过滤器、一个具有底面中心孔的外盖，以及一个流向控制器，该控制器具有一根穿透所述孔的轴，并位于颗粒过滤器和外盖之间。洁净室具有安装在一个进口内的上述气流控制装置。因此，由于被引入一个需要预定净度水平的场所(例如一个洁净室)的气流广阔地被分散，洁净室内部的温差减小，并且相对湿度成为最佳。从而也能降低洁净室的静电水平。