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发明公开
包括栅栏图案的图像传感器审中-实审

公开(公告)号：CN114068592A

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202110777511.4

申请日：2021-07-09

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 方善煐 , 罗承柱 , 郑会敏 , 郑熙根

IPC: H01L27/146

Abstract: 一种图像传感器包括：衬底，其具有彼此相对的第一表面和第二表面；衬底上的多个滤色器；所述多个滤色器中的邻近的滤色器之间的栅栏图案；以及衬底与所述多个滤色器之间的保护层，其中，保护层覆盖栅栏图案。栅栏图案包括：第一栅栏图案，其具有彼此相对的第一底表面和第一顶表面；以及第一栅栏图案的第一顶表面上的第二栅栏图案。第一栅栏图案在第一底表面处的宽度小于第二栅栏图案的宽度，并且保护层覆盖第一栅栏图案的侧壁。

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