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公开(公告)号：CN1616947A
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：CN200410094659.4
申请日：2004-11-11
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G01N29/036 , G01G3/16 , G01N2291/0256 , G01N2291/0427
Abstract: 一种微质量测量装置，包括：在其上附着对象的悬臂、在悬臂上形成的压电元件、用于主动振动悬臂并提供由对象引起的改变的谐振频率的振荡电路、以及用于测量悬臂的谐振频率的频率测量设备。
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