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公开(公告)号：CN109768047A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201811330978.9
申请日：2018-11-09
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/11551 , H01L27/11556
Abstract: 本发明公开一种三维半导体存储器件，该三维半导体存储器件包括：电极结构，包括交替地堆叠在基板上的栅电极和绝缘层；半导体图案，在基本上垂直于基板的顶表面的第一方向上延伸并穿过电极结构；隧道绝缘层，设置在半导体图案和电极结构之间；阻挡绝缘层，设置在隧道绝缘层和电极结构之间；以及电荷存储层，设置在阻挡绝缘层和隧道绝缘层之间。电荷存储层包括具有第一能带隙的多个第一电荷捕获层以及具有大于第一能带隙的第二能带隙的第二电荷捕获层。第一电荷捕获层嵌入在栅电极和半导体图案之间的第二电荷捕获层中。
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