公开(公告)号：CN100476749C

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN98114804.2

申请日：1998-06-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 张在万 ,  崔在燮 ,  郑浚

IPC: G06F11/28

CPC classification number: G05B19/4184 ,  G05B2219/32234 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  Y02P90/10 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/86

Abstract: 一种用于控制设置在控制系统中的半导体制造设备的预防性维护周期的方法，在所述控制系统中，一个预定的PM控制模块被设置在一台主计算机和若干设备之间。通过PM控制模块连续地和自动地监控从这些设备加载的各种运行参数的值。结果，可以在没有操作员任何参与的情况下始终一致地控制预防性维护周期，保护设备免受由于在操作员确定预防性维护周期时出现的错误而造成的损害，并且可提高运行效率。

公开(公告)号：CN1223405A

公开(公告)日：1999-07-21

申请号：CN98114804.2

申请日：1998-06-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 张在万 ,  崔在燮 ,  郑浚

IPC: G06F11/28

CPC classification number: G05B19/4184 ,  G05B2219/32234 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  Y02P90/10 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/86

Abstract: 一种用于控制设置在控制系统中的半导体制造设备的预防性维护周期的方法,在所述控制系统中,一个预定的PM控制模块被设置在一台主计算机和若干设备之间。通过PM控制模块连续地和自动地监控从这些设备加载的各种运行参数的值。结果,可以在没有操作员任何参与的情况下始终一致地控制预防性维护周期,保护设备免受由于在操作员确定预防性维护周期时出现的错误而造成的损害,并且可提高运行效率。