公开(公告)号：CN1153834A

公开(公告)日：1997-07-09

申请号：CN96110592.5

申请日：1996-07-18

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔相国 ,  高赫俊 ,  安愿植 ,  徐顺采

IPC: C30B31/14

Abstract: 在一种装载片子的方法中，一种舟使得能够减少垂直扩散炉内片子中产生的晶体缺陷并提高工艺均匀性。提供了一种舟，它包含一对用来支持片子面对面二边的侧面舟杆、一对彼此比侧面舟杆靠得更近且平行于侧面舟杆安装的用来支持片子边缘的后部舟杆、以及以相等的角度倾斜地形成并固定于侧面舟杆和后部舟杆的凸出物。因此，即使处理大直径片子时，也可防止扩散工艺中产生晶体缺陷。

公开(公告)号：CN101290871A

公开(公告)日：2008-10-22

申请号：CN200810092630.0

申请日：2008-04-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 郑在祐 ,  崔相国

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: G05B19/41865 ,  G05B2219/32097 ,  G05B2219/32275 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67769 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/20

Abstract: 公开了一种成批传送晶片至垂直炉的系统和方法。该方法包括：接收与推进操作相关的整批信息并将该整批信息存储在与垂直炉相关联的存储器中，其中整批信息标识多个批；从垂直炉的I/O端口将与多个批相关联的多个承载器顺序地传送到承载器保持器；在承载器保持器接收多个承载器中的所有承载器之前，将来自承载器保持器的多个承载器中的至少一个传送到晶片传送台；并从来自晶片传送台的该多个承载器中的至少一个将晶片传送到晶舟。