公开(公告)号：CN101063829B

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200710101054.7

申请日：2007-04-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔交亨 ,  朴珍俊

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70633

Abstract: 一种重叠测量设备包括，产生具有多个波长的可见光的光源；光学模块；从由该光源产生的可见光选择具有单个波长的可见光，使该具有单个波长的可见光入射在该多个重叠图形上，以及使用从该多个重叠图形反射的可见光，以用预定的颜色投影该重叠图形；成像单元，根据该可见光的各个波长，获取该多个重叠图形的图像，和获取相应图像信号；以及控制单元，输出控制信号到光学模块，以便该光学模块可以使用与可见光的各个波长相关的信息，用特定的颜色投影该重叠图形，该可见光用来投影由选择单元选择的重叠图形。

公开(公告)号：CN101063829A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200710101054.7

申请日：2007-04-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔交亨 ,  朴珍俊

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70633

Abstract: 一种重叠测量设备包括，产生具有多个波长的可见光的光源；光学模块；从由该光源产生的可见光选择具有单个波长的可见光，使该具有单个波长的可见光入射在该多个重叠图形上，以及使用从该多个重叠图形反射的可见光，以用预定的颜色投影该重叠图形；成像单元，根据该可见光的各个波长，获取该多个重叠图形的图像，和获取相应图像信号；以及控制单元，输出控制信号到光学模块，以便该光学模块可以使用与可见光的各个波长相关的信息，用特定的颜色投影该重叠图形，该可见光用来投影由选择单元选择的重叠图形。