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公开(公告)号：CN115148624A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210011884.5
申请日：2022-01-05
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种测量载体包括：具有内部空间的外壳；以及位于所述内部空间内的流速测量设备。所述外壳的底表面包括：提供内部空间与外部空间之间的流体连通的第一流入孔、第二流入孔和流出孔。所述流速测量设备可以包括：与第一流入孔流体连通的第一流速测量传感器；以及与第二流入孔流体连通的第二流速测量传感器。
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