公开(公告)号：CN118799345A

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202311674437.9

申请日：2023-12-07

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 林蘂呢 ,  金东玉 ,  李元熙 ,  孙秀奉 ,  朴汉森 ,  车秉奎

IPC: G06T7/12 ,  G06T7/194

Abstract: 提供操作透射电子显微镜(TEM)图像处理设备的方法，所述方法包括：从TEM设施获取TEM图像；对TEM图像执行弱标记；使用引导模型生成被部分标记的TEM图像的地面真值；使用包括TEM图像和与TEM图像对应的地面真值的训练数据执行分割；根据分割的结果测量装置核心结构；以及根据装置核心结构使测量结果可视化，并且将测量结果存储在数据库中。

公开(公告)号：CN115775714A

公开(公告)日：2023-03-10

申请号：CN202211053783.0

申请日：2022-08-30

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 赵润济 ,  孙秀奉 ,  李明俊 ,  李泰衡 ,  林蕊呢

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66

Abstract: 提供了扫描电子显微镜(SEM)装置和半导体制造装置。该SEM装置包括：电子束源，其被配置为发射电子束；透镜单元，其设置在电子束源与被配置为安置包括具有图案的结构的物体的台之间，并且包括扫描线圈和像散调节器，扫描线圈被配置为生成电磁场以提供透镜；以及控制单元。控制单元被配置为改变透镜单元与物体之间的工作距离以获得多个原始图像，从多个原始图像获得其中出现结构的图案图像和其中出现电子束在物体上的分布的多个核心图像，并且利用从多个核心图像提取的特征值来控制像散调节器调节透镜单元的聚焦和像散。