使凝胶管烧结的方法和装置

    公开(公告)号:CN1498746A

    公开(公告)日:2004-05-26

    申请号:CN200310104442.2

    申请日:2003-10-29

    CPC classification number: C03B19/12

    Abstract: 本发明公开了一种对由溶胶-凝胶变化形成的凝胶管进行烧结的方法和装置。所述的烧结装置包括:反应室,用于在密封的真空条件下装入凝胶管;真空泵,用于依据控制信号,对反应室内的真空条件进行调整;真空计,用于测量反应室内的真空条件;可移动部分,用于支承凝胶管,并且依据控制信号,对该凝胶管进行旋转和垂直移动;温度传感器,用于测量反应室内的温度;加热器,用于依据控制信号,对反应室内的温度进行调整,以便对凝胶管进行烧结;以及,控制器,用于控制真空管、加热器、以及可移动部分,以便在真空条件下对凝胶管进行烧结。

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