公开(公告)号：CN101307435A

公开(公告)日：2008-11-19

申请号：CN200810125874.4

申请日：2008-01-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 南太永 ,  金兑壕 ,  金镐旺 ,  李相坤 ,  安炳浩 ,  金炯求

IPC: C23C16/18 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  H01L21/00 ,  H01L21/3205

CPC classification number: C23C16/4485 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明提供一种液体供给单元和供给方法、处理基板的设备及处理方法。在液体供给单元中，通过使用提供到缓冲容器的气体压缓冲容器中存在的液体，液体从缓冲容器提供到外部单元。提供压强测量部件来测量缓冲容器内的压强，在缓冲容器的再填充期间当缓冲容器内的压强等于或大于预设参考压强时，气体通过排出管线从缓冲容器排出。