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公开(公告)号:CN103295944B
公开(公告)日:2017-08-11
申请号:CN201310044499.1
申请日:2013-02-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67733
Abstract: 本发明提供了用于自动传输基板载体的载体传输器以及利用其传输基板载体的方法。载体传输器包括可拆卸地耦接到基板载体的夹具,该基板载体包括至少一个敞开门,多个基板通过该敞开门装载到基板载体中或从基板载体卸载。载体传输器还包括门阻挡单元,该门阻挡单元固定到夹具并配置为转换至阻挡位置,该阻挡位置为门阻挡单元的部分地阻挡所述门的位置从而在基板载体的自动传输期间防止多个基板从基板载体分离。
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公开(公告)号:CN103287985A
公开(公告)日:2013-09-11
申请号:CN201310052839.5
申请日:2013-02-18
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B66C19/00 , B66C1/28 , B66C13/18 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67763 , H01L21/68707
Abstract: 一种起吊装置以及包含所述起吊装置的起吊系统,所述起吊装置包括:行走单元,从一个地方移动至另一地方;升降单元,安装在所述行走单元中以被提起或从所述行走单元降落;夹持装置,安装在所述升降单元中,且选择性地夹持形成在容纳对象的容纳器的一侧的夹卡突起;以及分离阻止装置,与所述升降单元连接,并选择性地闭合所述容纳器的开放入口,以使容纳在所述容纳器中的对象不与所述容纳器分离。
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公开(公告)号:CN114942571A
公开(公告)日:2022-08-26
申请号:CN202210133036.1
申请日:2022-02-14
IPC: G03F7/20
Abstract: 提供了一种衬底传送装置、物品传送装置和衬底传送方法。所述衬底传送装置包括:行进单元,其包括在轨道上行进以在第一方向上传送衬底的行进轮;轨道单元,其包括轨道和在与第一方向不同的第二方向上从轨道突出的轨道突起;以及传感器单元,其包括第一传感器和第二传感器,其中,第一传感器感测行进单元,第二传感器感测轨道突起,其中,第一传感器和第二传感器基于第一方向沿着轨道放置在彼此相同的位置处。
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公开(公告)号:CN103295944A
公开(公告)日:2013-09-11
申请号:CN201310044499.1
申请日:2013-02-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67733
Abstract: 本发明提供了用于自动传输基板载体的载体传输器以及利用其传输基板载体的方法。载体传输器包括可拆卸地耦接到基板载体的夹具,该基板载体包括至少一个敞开门,多个基板通过该敞开门装载到基板载体中或从基板载体卸载。载体传输器还包括门阻挡单元,该门阻挡单元固定到夹具并配置为转换至阻挡位置,该阻挡位置为门阻挡单元的部分地阻挡所述门的位置从而在基板载体的自动传输期间防止多个基板从基板载体分离。
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