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公开(公告)号：CN109996925A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201880000725.7
申请日：2018-01-12
Applicant: 三星物产株式会社
Abstract: 本发明具体涉及一种可极大地抑制振动传递的钢筋混凝土格构梁。由于该钢筋混凝土格构梁中包含的混凝土为含有聚合物的聚合物混凝土，因此可有效抑制能另外影响曝光装置的精细级振动，而传统的格构梁的深度可保持不变。因此，提供了一种高阻尼钢筋混凝土格构梁，通过降低缺陷率并提高生产力，使精密曝光装置的性能得以最大化。
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公开(公告)号：CN109996925B
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201880000725.7
申请日：2018-01-12
Applicant: 三星物产株式会社
Abstract: 本发明具体涉及一种可极大地抑制振动传递的钢筋混凝土格构梁。由于该钢筋混凝土格构梁中包含的混凝土为含有聚合物的聚合物混凝土，因此可有效抑制能另外影响曝光装置的精细级振动，而传统的格构梁的深度可保持不变。因此，提供了一种高阻尼钢筋混凝土格构梁，通过降低缺陷率并提高生产力，使精密曝光装置的性能得以最大化。
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