公开(公告)号：CN101231431A

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：CN200710087153.4

申请日：2007-03-22

Applicant: 三星康宁株式会社

Inventor： 郑俊熙 ,  崔畯皓 ,  李相彻 ,  姜信赫

IPC: G02F1/1343 ,  C23C14/08 ,  C03C17/23

CPC classification number: H01J9/02 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3414 ,  H01J29/085 ,  H01J2211/225 ,  H01L51/5206

Abstract: 本发明提供包含相对铟原子约0.001原子％至约10原子％的钙的氧化锡铟(ITO)靶，和由ITO靶制备的显示器用ITO透明电极。一种制备所述ITO靶的方法，所述方法包括：通过将氧化铟粉末、氧化锡粉末和含钙化合物粉末混合制备淤浆；通过研磨并且干燥所述淤浆，将所述淤浆粒化以制备粒化粉末；使所述粒化粉末成形以形成成形体；和将所述成形体烧结。通过所述方法制备的含钙ITO靶可以减少在溅射过程中产生的结节数量和电弧次数，从而生长出能够长时间使用的膜。