-
公开(公告)号:CN1644622A
公开(公告)日:2005-07-27
申请号:CN200410104827.3
申请日:2004-12-23
Applicant: 三星康宁株式会社
IPC: C08L83/04 , C08K3/36 , C09D5/25 , C09D183/04 , B05D5/12
CPC classification number: H01L21/02126 , H01L21/02203 , H01L21/02216 , H01L21/02282 , H01L21/3122 , H01L21/76801
Abstract: 一种形成具有良好机械和绝缘特性的绝缘膜的合成物,包括:具有良好分散稳定性的硅溶胶、有机硅氧烷聚合物和疏水性有机溶剂,其中硅溶胶包含具有5至15nm平均粒径的初级粒子和具有70至100nm的次级粒子,所述初级和次级硅石粒子的总量占硅石粒子和有机硅氧烷聚合物总重量的2%至50%的范围内。