具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显微镜

    公开(公告)号:CN1323309C

    公开(公告)日:2007-06-27

    申请号:CN200510123581.9

    申请日:2005-11-21

    Inventor: 赵维谦 冯政德

    Abstract: 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域,涉及一种具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显微镜,包括光源(1),依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、第一偏振分光镜(10),放置在第一偏振分光镜(10)反射光路上的第一1/4波片(11)、显微物镜(4),以及在共焦接收光路中的聚光透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7),贴近针孔后面的光电探测器(8),其特征在于还包括依次放置在显微物镜(4)光轴上并处在第一偏振分光镜(10)位置后的第二偏振分光镜(10′)、第二1/4波片(11′)和多光束发生器(12)。本发明可广泛应用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。

    具有数十纳米横向分辨力的透射多光束共焦干涉显微镜

    公开(公告)号:CN1763504A

    公开(公告)日:2006-04-26

    申请号:CN200510123582.3

    申请日:2005-11-21

    Inventor: 赵维谦 冯政德

    Abstract: 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域,涉及一种具有数十纳米横向分辨力的透射多光束共焦干涉显微镜,包括光源(1),依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、偏振分光镜(10),放置在偏振分光镜(10)反射光路上的1/4波片(11)、显微物镜(4),以及在偏振分光镜(10)透射光路上的聚光透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7),贴近针孔后面的光电探测器(8),还包括放置在偏振分光镜(10)和聚光透镜(6)之间的多光束发生器(12)。本发明可广泛用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。

    具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显微镜

    公开(公告)号:CN1758015A

    公开(公告)日:2006-04-12

    申请号:CN200510123581.9

    申请日:2005-11-21

    Inventor: 赵维谦 冯政德

    Abstract: 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域,涉及一种具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显微镜,包括光源(1),依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、第一偏振分光镜(10),放置在第一偏振分光镜(10)反射光路上的第一1/4波片(11)、显微物镜(4),以及在共焦接收光路中的聚光透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7),贴近针孔后面的光电探测器(8),其特征在于还包括依次放置在显微物镜(4)光轴上并处在第一偏振分光镜(10)位置后的第二偏振分光镜(10′)、第二1/4波片(11′)和多光束发生器(12)。本发明可广泛应用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。

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