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公开(公告)号:CN113026001A
公开(公告)日:2021-06-25
申请号:CN202110574749.7
申请日:2021-05-26
Applicant: 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司 , 上海征世科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种介稳态控制制备金刚石的方法,该方法采用等离子体化学气相沉积法,在沉积台上进行沉积形成金刚石;其中,该制备方法包括设置温度控制系统,以及利用温度控制系统控制沉积过程中沉积台下方的温度自上而下按照设定的梯度递减,以及使得沉积台在沿沉积面延伸方向上的温度的变化低于5摄氏度;本发明方法通过对金刚石沉积过程尤其是沉积界面能量的精准控制,实现了金刚石的定向、定型且高质量的稳定生长。
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公开(公告)号:CN111570950B
公开(公告)日:2021-03-23
申请号:CN202010343145.7
申请日:2020-04-27
Applicant: 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司
Abstract: 本发明公开了一种环保型电火花线切割液及其制备方法和应用,其包括如下组分:悬浮剂、分散剂、爆炸剂、防腐剂、防锈剂、pH值调整剂、粘度调节剂、消泡剂、色彩调节剂、气味调节剂、电导率调整剂、玻璃成形剂和水;其制备过程必须依次添加混合上述组分且不可调整,其主要应用于快走丝线切割中,也可以应用于中丝及慢丝工艺;本发明的电火花切割液具有不含矿物油(环保处理效果好)、加工效率高12000‑21000mm2/h)、加工寿命长(0.18mm钼丝,寿命大于40万平方毫米)、表面光洁度高(ra
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公开(公告)号:CN111570950A
公开(公告)日:2020-08-25
申请号:CN202010343145.7
申请日:2020-04-27
Applicant: 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司
Abstract: 本发明公开了一种环保型电火花线切割液及其制备方法和应用,其包括如下组分:悬浮剂、分散剂、爆炸剂、防腐剂、防锈剂、pH值调整剂、粘度调节剂、消泡剂、色彩调节剂、气味调节剂、电导率调整剂、玻璃成形剂和水;其制备过程必须依次添加混合上述组分且不可调整,其主要应用于快走丝线切割中,也可以应用于中丝及慢丝工艺;本发明的电火花切割液具有不含矿物油(环保处理效果好)、加工效率高12000-21000mm2/h)、加工寿命长(0.18mm钼丝,寿命大于40万平方毫米)、表面光洁度高(ra
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公开(公告)号:CN113026001B
公开(公告)日:2021-08-17
申请号:CN202110574749.7
申请日:2021-05-26
Applicant: 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司 , 上海征世科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种介稳态控制制备金刚石的方法,该方法采用等离子体化学气相沉积法,在沉积台上进行沉积形成金刚石;其中,该制备方法包括设置温度控制系统,以及利用温度控制系统控制沉积过程中沉积台下方的温度自上而下按照设定的梯度递减,以及使得沉积台在沿沉积面延伸方向上的温度的变化低于5摄氏度;本发明方法通过对金刚石沉积过程尤其是沉积界面能量的精准控制,实现了金刚石的定向、定型且高质量的稳定生长。
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公开(公告)号:CN112030133A
公开(公告)日:2020-12-04
申请号:CN202011229600.7
申请日:2020-11-06
Applicant: 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司 , 上海征世科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种金刚石及其制备方法和应用,该金刚石的制备方法包括(1)通过对基片台的基材材料进行处理,获得易于与金刚石膜分离的表面;(2)采取等离子体化学气相沉积法,在基片台表面形成金刚石膜层,其中等离子体化学气相沉积采用多种能量源耦合等离子体;(3)对金刚石膜层进行后处理,以去除其中金刚石表面的杂质材料及与金刚石膜主体性能不一致的形核层和/或应力层。本发明通过对工艺整体进行综合设计,尤其是通过前期基片台的基材材料进行处理,沉积工艺中多种能量源的耦合,以及特定的后处理,实现稳定的高质量大面积的金刚石膜的制备。该方法具有厚度可控,质量可控,成本可控等优点,为金刚石在刀具、热沉等领域奠定了基础。
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公开(公告)号:CN112025530A
公开(公告)日:2020-12-04
申请号:CN202011228360.9
申请日:2020-11-06
Applicant: 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司 , 上海征世科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种纳米金刚石刀具的制备方法及其应用,所述方法采用金刚石作为原料,除包括切割定型工序、抛光工序和刃口加工工序外,还特别包括在切割定型工序之前进行的预处理工序和在刃口加工工序之后进行的表面修饰工序,其中预处理工序用以尽量消除所述金刚石中的缺陷;表面修饰工序用以在刃口表面形成保护层;在抛光工序中:首先对金刚石刀具基材进行检测以识别金刚石的晶面,然后选取金刚石的(100)晶面或(110)晶面进行后续的抛光,并将抛光后的晶面作为前刀面;刃口加工工序采用保护性刃磨方法或激光定向解理方法。本发明制成的纳米金刚石刀具能够达到刃口精度为1-5nm,适于应用于车削、纳米探针和生物切片等领域。
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公开(公告)号:CN118929577A
公开(公告)日:2024-11-12
申请号:CN202411252568.2
申请日:2024-09-06
Applicant: 武汉香榭轩新材料技术有限公司 , 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司
IPC: C01B7/07
Abstract: 本发明公开了一种采用异质流制备超高纯盐酸的方法、氯化氢的提纯方法,该方法首先采用加络合剂和还原剂对氯化氢进行除杂处理,以两种试剂的同时作用,克服盐酸与四氯化锡共沸难去除问题及游离氯的影响,采用非氯化氢物料人为制造超高纯异质流介质膜层,形成气液交换,进行异质流净化提纯氯化氢气体,用超纯水等吸收得超高纯盐酸,该超高纯盐酸单项金属小于10ppt,达到国际半导体协会SEMIC12标准,满足12寸以上芯片制备要求,可用于高集成度芯片的清洗和刻蚀;另可经冷冻压缩获得超高纯氯化氢,该氯化氢纯度可以达到6.5N,满足半导体特气要求。与现有技术相比,本发明具有工艺流程简单,生产效率高,节能环保等优点。
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公开(公告)号:CN114014282A
公开(公告)日:2022-02-08
申请号:CN202210003433.7
申请日:2022-01-05
Applicant: 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司
IPC: C01B21/46
Abstract: 本发明公开了一种高纯硝酸的连续生产方法,该生产方法为采用循环载气方法进行提纯工业硝酸,该循环载气方法为利用不同温度下硝酸的饱和蒸汽压不同,将载气气体鼓入硝酸物料中,获得硝酸饱和的混合气,而后在换热器中降温,实现硝酸的过饱和析出,进而实现硝酸物料的传输与提纯工作,载气气体在工艺中循环使用。采用本发明工艺制备的超高纯硝酸各单项金属离子含量低于10ppt,除硝酸根外,各单项阴离子小于50ppb。与已有方法相比,本发明工艺和设备简单,生产效率高,产品质量稳定,能耗低,产品满足甚至超过SEMI C12标准的要求,可用于高集成度芯片的清洗和刻蚀。
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公开(公告)号:CN112331947B
公开(公告)日:2021-08-27
申请号:CN202011076234.6
申请日:2020-10-10
Applicant: 武汉工程大学 , 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司
IPC: H01M10/54
Abstract: 本发明公开了一种锂电池回收拆解过程中的锂电池放电方法,其包括:采用等离子体放电方法生成等离子体并形成放电导通通道,通过所述放电导通通道导通锂电池的正极和负极,实现锂电池放电;该方法可以实现将锂电池存储的能量充分安全释放,达到绿色工业化批量生产的要求,其不仅具有技术先进,智能化水平高,污染少,能耗小等诸多优点;而且符合国家现在绿水青山的环保政策,符合目前的锂电池发展的趋势,也符合整体社会发展智能化的发展需求。
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公开(公告)号:CN108862200A
公开(公告)日:2018-11-23
申请号:CN201810855103.4
申请日:2018-07-31
Applicant: 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司
IPC: C01B7/19
Abstract: 本发明公开了一种超高纯氢氟酸的制备方法,包括:1)将无水氟化氢汽化,掺入含有氟气、三氟化氮和二氟化氧中的一种或多种的含氟气体,得第一混合气;2)将所述第一混合气通入等离子体发生装置中,使第一混合气中含有的杂质三氟化砷转化为五氟化砷,得第二混合气;3)将第二混合气通过含有金属氟化物的水溶液进行洗涤得到纯化的氟化氢,并控制水溶液的温度,洗涤过程中第二混合气中的五氟化砷反应转化为砷酸盐,保留在水中;4)选择性地重复步骤2)和步骤3)的步骤;5)将所述超高纯氟化氢溶解于水中,过滤,得纯化的氢氟酸;本发明的方法简单、高效,成本低,可连续生产,不会给后续应用带来不利影响,且无化工危险废弃物,对环境危害小。
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