公开(公告)号：CN1867659B

公开(公告)日：2011-03-16

申请号：CN200480030400.1

申请日：2004-11-24

Applicant: 精密聚合株式会社

Inventor： 须贺重政 ,  加门茂 ,  矢田隆司 ,  寺井章博

IPC: C11D7/08 ,  C11D7/18 ,  C11D7/32 ,  C11D17/08

CPC classification number: C11D11/0047 ,  C11D7/06 ,  C11D7/08 ,  C11D7/3209

Abstract: 本发明提供使用1种液体、不腐蚀配线或门等的在常温并且短时间内可除去晶片表面的颗粒、金属杂质的洗涤剂。为解决上述课题，本发明制得是含有磷酸、氢氟酸、氨和/或胺，pH为2-12范围的水溶液，其含有磷酸0.5-25质量％，氨和/或胺0.1-10质量％，氢氟酸5×10-3-5.0质量％的洗涤剂。

公开(公告)号：CN1867659A

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN200480030400.1

申请日：2004-11-24

Applicant: 岸本产业株式会社 ,  精密聚合株式会社

Inventor： 须贺重政 ,  加门茂 ,  矢田隆司 ,  寺井章博

IPC: C11D7/08 ,  C11D7/18 ,  C11D7/32 ,  C11D17/08

CPC classification number: C11D11/0047 ,  C11D7/06 ,  C11D7/08 ,  C11D7/3209

Abstract: 本发明提供使用1种液体、不腐蚀配线或门等的在常温并且短时间内可除去晶片表面的颗粒、金属杂质的洗涤剂。为解决上述课题，本发明制得是含有磷酸、氢氟酸、氨和/或胺，pH为2－12范围的水溶液，其含有磷酸0.5－25质量％，氨和/或胺0.1－10质量％，氢氟酸5×10－3－5.0质量％的洗涤剂。