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公开(公告)号：CN114810550A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210009390.3
申请日：2022-01-06
Applicant: 爱发科低温泵株式会社
Abstract: 本发明提供能够抑制排气容量的减少的低温泵。具备：冷冻机(11)；辐射屏蔽部(12)，具备：筒状部(12A)，具有导入外气的导入口(12A1)；底部(12B)，封闭与筒状部(12A)的导入口(12A1)相反的一侧的开口；以及贯通孔(12AH)，贯通筒状部(12A)，穿过第2缸体(11D)，且该辐射屏蔽部在筒状部外与冷冻机的第1台部(11A)热连接；挡板(13)，位于导入口；低温板(14)，在筒状部内与冷冻机(11)的第2台部(11B)热连接；以及第1罩部(15)，在从与挡板(13)相对的视点观察时，位于挡板(13)与冷冻机(11)的第2缸体(11D)之间，与第1台部(11A)连接。
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公开(公告)号：CN107304760B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201710257499.8
申请日：2017-04-19
Applicant: 爱发科低温泵株式会社
Abstract: 本发明提供一种振动被衰减的低温泵和真空处理装置。支承马达部（23）、冷冻部（24）和低温泵内部零件（35）的重量的马达部侧凸缘（44）借助防振装置（5）固定在泵壳侧凸缘（42）上。泵壳侧凸缘（42）经由泵壳（33）固定在真空室（16）上；由马达部（23）及冷冻部（24）产生的振动被防振装置（5）衰减而传递给真空室（16），所以能够在真空室（16）的内部进行高精度的处理。
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公开(公告)号：CN107029445B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201610976901.3
申请日：2016-11-07
Applicant: 爱发科低温泵株式会社
IPC: B01D8/00
Abstract: 本发明提供一种能抑制冷却效率的下降的冷却装置。冷却装置(10)具备：冷却部件(11)，其包括吸热面(11a)和凝结面(11b)；以及冷却部(12)，其与凝结面(11b)连接。冷却部件(11)包括第1部分和热阻比第1部分高的第2部分，在冷却部件(11)中，在从凝结面(11b)朝向吸热面(11a)的方向上排列第1部分和第2部分。
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公开(公告)号：CN110160317A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910090026.2
申请日：2019-01-30
Applicant: 爱发科低温泵株式会社
IPC: F25J3/04
Abstract: 本发明提供能够减少装置的设置占有面积并能够变更取出口的位置的低温液化气体产生装置。本发明的一个方式所涉及的低温液化气体产生装置具备储存罐、气体导入器、冷冻回路、送出配管以及壳体。所述储存罐储存液化气体。所述气体导入器向所述储存罐导入要液化的气体。所述冷冻回路包括对导入所述储存罐的气体进行冷却并液化的冷冻机。所述送出配管与所述储存罐连通，并在前端部具有液化气体的取出口。所述壳体具有能够可装卸地保持所述送出配管的前端部的操作部，并收容所述储存罐、所述冷冻回路、所述气体导入器以及所述送出配管。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109314078A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780035954.8
申请日：2017-05-26
Applicant: 株式会社爱发科 , 爱发科低温泵株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 提供一种在真空腔内一边将被处理物冷却到极低温一边将其可旋转自如地保持的保持装置。在真空腔(1)内一边冷却被处理物W一边旋转自如地保持的保持装置HS具有设置被处理物的平台(1)和旋转自如地支撑平台的旋转驱动装置(2)及冷却平台的冷却装置(3)。设置被处理物的平台表面朝上，旋转驱动装置具有在真空腔的腔壁壁表面上通过真空密封件(22)贯穿安装的筒状旋转轴体(21)和用以在平台下方划分出空间(24)连接旋转轴体的上端和平台下表面的连接部件(23)及旋转驱动旋转轴体的驱动马达(25)，冷却装置具有在平台下方的空间有缝隙并相对于平台的下表面设置的冷却面板(31)和插入到旋转轴体内并与冷却面板的下表面抵接的传热轴体及冷却传热轴体的冷冻机(33)。
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公开(公告)号：CN109314078B
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN201780035954.8
申请日：2017-05-26
Applicant: 株式会社爱发科 , 爱发科低温泵株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 提供一种在真空腔内一边将被处理物冷却到极低温一边将其可旋转自如地保持的保持装置。在真空腔(Vc)内一边冷却被处理物W一边旋转自如地保持的保持装置HS具有设置被处理物的平台(1)和旋转自如地支撑平台的旋转驱动装置(2)及冷却平台的冷却装置(3)。设置被处理物的平台表面朝上，旋转驱动装置具有在真空腔的腔壁壁表面上通过真空密封件(22)贯穿安装的筒状旋转轴体(21)和用以在平台下方划分出空间(24)连接旋转轴体的上端和平台下表面的连接部件(23)及旋转驱动旋转轴体的驱动马达(25)，冷却装置具有在平台下方的空间有缝隙并相对于平台的下表面设置的冷却面板(31)和插入到旋转轴体内并与冷却面板的下表面抵接的传热轴体及冷却传热轴体的冷冻机(33)。
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公开(公告)号：CN110160317B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201910090026.2
申请日：2019-01-30
Applicant: 爱发科低温泵株式会社
IPC: F25J3/04
Abstract: 本发明提供能够减少装置的设置占有面积并能够变更取出口的位置的低温液化气体产生装置。本发明的一个方式所涉及的低温液化气体产生装置具备储存罐、气体导入器、冷冻回路、送出配管以及壳体。所述储存罐储存液化气体。所述气体导入器向所述储存罐导入要液化的气体。所述冷冻回路包括对导入所述储存罐的气体进行冷却并液化的冷冻机。所述送出配管与所述储存罐连通，并在前端部具有液化气体的取出口。所述壳体具有能够可装卸地保持所述送出配管的前端部的操作部，并收容所述储存罐、所述冷冻回路、所述气体导入器以及所述送出配管。
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公开(公告)号：CN107488835A
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201710442073.X
申请日：2017-06-13
Applicant: 爱发科低温泵株式会社
IPC: C23C14/56
CPC classification number: C23C14/568
Abstract: 本发明提供一种能够在真空气氛的腔室内可靠地边冷却边运送被传送物的具有结构简单的冷却结构的传送装置。具有卷绕在至少两个辊(20、30)上、外表面上载置有基板(S)并环绕行进的传送带(10)。以位于各辊间彼此逆向行进的传送带的部分中载置有被传送物的一侧的部分为上带部(Uv)，另一侧的部分为下带部(Dv)，以上带部和下带部相对的方向为上下方向，在上带部的下表面和下带部的上下表面中的至少一面上，在上下方向隔规定间隔相向配置长度大于等于传送带的宽度的冷却面板(40)。还具有对冷却面板进行冷却的冷却装置(5)，以及向由冷却面板和传送带所限定的空间(60)中提供惰性气体的气体供给装置(70)。
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公开(公告)号：CN107304760A
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201710257499.8
申请日：2017-04-19
Applicant: 爱发科低温泵株式会社
Abstract: 本发明提供一种振动被衰减的低温泵和真空处理装置。支承马达部（23）、冷冻部（24）和低温泵内部零件（35）的重量的马达部侧凸缘（44）借助防振装置（5）固定在泵壳侧凸缘（42）上。泵壳侧凸缘（42）经由泵壳（33）固定在真空室（16）上；由马达部（23）及冷冻部（24）产生的振动被防振装置（5）衰减而传递给真空室（16），所以能够在真空室（16）的内部进行高精度的处理。
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