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公开(公告)号：CN119748067A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411976285.2
申请日：2024-12-31
Applicant: 沈阳一冠新材料科技有限公司
Abstract: 本发明涉及脆性合金Ti‑Al系金属间化合物机械加工技术领域，具体为一种钛铝合金靶材的机械加工方法，适于28nm线程以下规格芯片用纯度4N5以上高纯溅射靶材的制备。该方法对铸造后的靶坯采用恒定线速度数控车加工+轴向真空吸盘固定的方式，对钛铝合金靶坯进行表面加工。本发明通过优化靶坯夹持方式、数控加工工艺参数，避免脆性钛铝合金靶坯加工过程变形、崩角和表面粗糙度不均匀的问题，使钛铝合金靶材获得良好的尺寸控制和表面完整度，实现了脆性大、易变形钛铝合金靶材尺寸精度、导电性的稳定控制。
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