公开(公告)号：CN114008417B

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202080045628.7

申请日：2020-06-22

Applicant: 沃特洛电气制造公司

Inventor： 穆罕默德·诺斯拉蒂 ,  法蒂梅·诺斯拉蒂 ,  雅各布·林德利 ,  约翰·利勒兰德 ,  章三红

IPC: G01H11/06 ,  F17D1/02 ,  F17D5/00

Abstract: 一种监测动态系统的状况的方法，包括在动态系统的预定位置处安装振动信号获取装置，由振动信号获取装置获取振动信号，在频域中分析振动信号，以及基于频域中的振动信号预测动态系统的状况的变化。还提供了一种系统，并且动态系统的状况包括阻塞。

公开(公告)号：CN115552230B

公开(公告)日：2024-06-21

申请号：CN202180032474.2

申请日：2021-05-03

Applicant: 沃特洛电气制造公司

Inventor： 雅各布·林德利 ,  菲利普·施密特 ,  米兰达·皮泽拉 ,  马克·D·埃弗利

IPC: G01N25/00 ,  G01J5/00

Abstract: 一种方法包括：向部件提供热能，响应于提供热能来确定部件的热响应，以及基于参考热响应和该热响应来确定部件的热特性。该方法包括基于热特性和预测分析模型预测部件的表面条件，其中预测分析模型将部件的热特性与部件的估计表面条件相关联。

公开(公告)号：CN112384776B

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN201980045794.4

申请日：2019-05-22

Applicant: 沃特洛电气制造公司

Inventor： 约翰·伯根

IPC: G01K11/32

Abstract: 公开了用于基于荧光感测衬底的温度的温度感测探头。温度感测探头包括光纤电缆，该光纤电缆在冷端具有光接口，在热端具有用于接触衬底的温度感测元件。护套包围光纤电缆的热端的至少一部分。保持构件牢固地且可移除地将护套与支撑构件接合。护套在温度感测元件与衬底之间的接触周围形成真空密封。

公开(公告)号：CN114183917B

公开(公告)日：2023-08-01

申请号：CN202111481241.9

申请日：2018-08-28

Applicant: 沃特洛电气制造公司

Inventor： E·迪诺尔 ,  S·塔塔瓦蒂 ,  章三红 ,  S·博默

IPC: F24H1/14 ,  F24H9/00 ,  F24H9/1818 ,  F24H9/20 ,  F24H15/212 ,  F24H15/25 ,  F28D7/16 ,  F28F9/22

Abstract: 一种加热器组件，包括连续系列的穿孔的螺旋形构件和多个加热元件。穿孔的螺旋形构件协配以限定围绕加热器组件的纵向轴线设置的几何螺旋体。每个穿孔的螺旋形构件限定相对的边缘和预定图案的穿孔。穿孔延伸穿过平行于纵向轴线的每个穿孔的螺旋形构件。加热元件延伸穿过穿孔。

公开(公告)号：CN109863584B

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN201780049895.X

申请日：2017-06-15

Applicant: 沃特洛电气制造公司

Inventor： S·H·布雷特洛 ,  J·莱姆克 ,  J·亨特吉斯 ,  K·内斯 ,  E·艾里斯 ,  W·博林格 ,  M·耶德 ,  D·R·麦克拉斯基

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开总体上描述了一种系统，该系统包括加热器、包括功率开关的功率转换器、以及控制器。功率转换器与加热器通信，并且可操作用于将可调整的电压施加到加热器。控制器与功率开关通信，以基于加热器处的负载电流和检测到的电压中的至少一者来控制功率转换器的电压输出。控制器操作功率开关以调整功率转换器的电压输出。

公开(公告)号：CN115669217A

公开(公告)日：2023-01-31

申请号：CN202180036539.0

申请日：2021-05-19

Applicant: 沃特洛电气制造公司

Inventor： 斯坦顿·H·布莱特洛 ,  布列塔尼·菲利普斯 ,  凯文·帕塔斯恩斯基

IPC: H05B1/02

Abstract: 一种校准加热器的方法包括将加热器供电至第一温度设定点。加热器包括具有变化的电阻温度系数的电阻加热元件。该方法还包括：当加热器从第一温度设定点冷却到低于第一温度设定点的第二温度设定点时，同时获得电阻加热元件的多个电阻测量值和参考构件的多个参考温度测量值，并且产生将多个电阻测量值与多个参考温度测量值相关联的电阻‑温度校准表。

公开(公告)号：CN115211228A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202180016478.1

申请日：2021-02-24

Applicant: 沃特洛电气制造公司

Inventor： 斯坦顿·H·布莱特洛 ,  马修·扬德 ,  布列塔尼·菲利普斯

IPC: H05B1/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 一种动态校准具有由一个或多个电阻加热元件限定的多个区域的加热器的方法，包括基于动态电阻‑温度(R‑T)模型控制对具有多个区域的加热器的供电以控制加热器的温度达到温度设定点。对于多个区域中的每一个，该方法还包括基于相应区域的电阻加热元件的电阻和动态R‑T模型测量相应区域的温度，测量相应区域的参考温度，以及增量调整与相应区域的在动态R‑T模型中提供的温度设定点相关联的电阻值到校准电阻值。该方法还包括提供将多个区域的校准电阻值与温度设定点相关联的动态R‑T模型作为校准R‑T模型。

公开(公告)号：CN115087146A

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN202210231791.3

申请日：2022-03-10

Applicant: 沃特洛电气制造公司

Inventor： 马克·埃弗利 ,  斯科特·伯默尔

IPC: H05B3/00 ,  H05B3/02 ,  H05B1/02 ,  H05B3/04

Abstract: 一种加热器系统，包括：具有加热器组件的加热器束，至少一个加热器组件具有多个加热器单元，至少一个加热器单元具有独立受控的加热区域，并且至少一个加热器组件具有物理结构，该物理结构配置成沿着至少一个加热器组件的长度输送每单位长度的可变功率输出。多个供电导线电连接到多个加热器单元，并且加热器系统还包括用于确定温度的装置。电源装置包括控制器，该控制器配置成基于确定的温度，通过供电导线对独立受控的加热区域调制功率，以沿着至少一个加热器组件的长度提供期望的功率输出。

公开(公告)号：CN114557125A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202080072020.3

申请日：2020-09-14

Applicant: 沃特洛电气制造公司

Inventor： 帕特里克·马加维奥 ,  托德·布鲁克 ,  库尔特·英格利希

IPC: H05B3/26 ,  H05B3/14 ,  H05B3/12 ,  H05B3/28 ,  H05B1/02 ,  H01L21/67

Abstract: 一种加热器包括氮化铝(AlN)基板和加热层。加热层由钼材料制成并且通过瞬时液相结合而结合到AlN基板。加热器还可以包括布线层和将加热层连接到布线层的多个第一导电通孔。布线层和多个第一导电通孔可以由钼材料制成并且布线层和多个第一导电通孔中的至少一个通过瞬时液相结合结合到AlN基板。可以包括将布线层连接到AlN基板的表面的多个第二导电通孔并且多个第二导电通孔由钼材料制成并且可以通过瞬时液相结合而结合到AlN基板。

公开(公告)号：CN108476006B

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN201680074692.1

申请日：2016-11-02

Applicant: 沃特洛电气制造公司

Inventor： B·D·A·埃利奥特 ,  F·巴拉玛 ,  M·帕克 ,  J·斯蒂芬斯 ,  G·胡森

IPC: H02N13/00 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  B23Q3/15 ,  C04B37/00 ,  B23K1/00

Abstract: 具有适于在500℃至750℃的温度范围内的Johnsen‑Rahbek夹持的顶表面的静电卡盘。可以使用能承受腐蚀性加工化学的钎焊层将该顶表面连接到静电卡盘的下部。提供了具有适于在500℃至750℃的温度范围内的Johnsen‑Rahbek夹持的顶表面的静电卡盘的制造方法。