微细加工处理剂、和微细加工处理方法

    公开(公告)号:CN114761519A

    公开(公告)日:2022-07-15

    申请号:CN202180002940.2

    申请日:2021-06-11

    Abstract: 本发明提供对至少具有含硅绝缘膜的被处理物,在抑制微粒的残留的同时能够进行良好的微细加工的微细加工处理剂和微细加工处理方法。本发明的微细加工处理剂是用于对至少具有含硅绝缘膜的被处理物进行微细加工的微细加工处理剂,其特征在于,包含以下的化学式(1)所示的化合物、氟化氢、氟化铵和水,M++(Rf‑SO2)‑N‑‑(SO2‑Rf) (1)(化学式(1)中,Rf表示碳原子数为1~4的全氟烷基,M+表示氢离子或铵离子)上述化合物的含量相对于上述微细加工处理剂的总质量为0.001质量%以上且0.5质量%以下,上述氟化氢的含量相对于上述微细加工处理剂的总质量为0.05质量%以上且25质量%以下,上述氟化铵的含量相对于上述微细加工处理剂的总质量为0.5质量%以上且40质量%以下,上述氟化氢的含量与上述氟化铵的含量满足以下的关系式(1)。Y≤‑0.8X+40 (1)(其中,X表示氟化氢的浓度(质量%),Y表示氟化铵的浓度(质量%))。

    氟化物颗粒的分散液、其制造方法及光学膜

    公开(公告)号:CN114728800A

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN202080081279.4

    申请日:2020-11-11

    Abstract: 本发明提供一种粘度低且分散性优异、适于制造防反射膜等光学膜的氟化物颗粒的分散液、其制造方法及使用了该分散液的光学膜。本发明的氟化物颗粒的分散液的特征在于,以化学式AxCFy(式中,所述A表示钠或钾,所述C表示硅或硼。所述x为1或2,所述y为4或6。)表示的氟化物的颗粒分散于相对介电常数为5~40的非质子性有机溶剂中而成,本发明的光学膜的特征在于,使用所述氟化物颗粒的分散液制造而得到。

    五氟化磷和六氟磷酸盐的制造方法

    公开(公告)号:CN104310327A

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201410488013.8

    申请日:2008-02-05

    CPC classification number: C01B25/10 C01B25/455 C01D15/005

    Abstract: 提供这样的五氟化磷制造方法,其能够简单并且以经济的步骤提供高纯度的五氟化磷,其中不需要大规模的纯化装置或高压装置,并且,该制造能够不产生需要特别的排出气体处理的大量副产物气体。该五氟化磷制造方法的特征在于,将氟化氢和六氟磷酸盐(MPF6)导入容器中,根据式1的反应生成五氟化磷。MPF6+uHF→PF5+MF·r(HF) (式1)条件是M为Li、Na、K、Rb、Cs、NH4、Ag中任一种以上0≤r≤u式中HF使用化学计量以上的量。

    微细加工处理剂及微细加工处理方法

    公开(公告)号:CN102428547B

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN200980159339.3

    申请日:2009-05-21

    CPC classification number: H01L21/31111 C09K13/08

    Abstract: 本发明提供微细加工处理剂及微细加工处理方法。本发明提供在对至少层叠有氧化硅膜及氮化硅膜的层叠膜进行微细加工时可选择性地对氧化硅膜进行微细加工的微细加工处理剂及使用该微细加工处理剂的微细加工处理方法。本发明的微细加工处理剂的特征在于,含有(a)0.01~15重量%的氟化氢或者0.1~40重量%的氟化铵中的至少1种、(b)水及(c)0.001~10重量%的选自丙烯酸、丙烯酸铵、丙烯酸酯、丙烯酰胺、苯乙烯磺酸、苯乙烯磺酸铵及苯乙烯磺酸酯中的至少任1种水溶性聚合物。

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