公开(公告)号：CN1965102A

公开(公告)日：2007-05-16

申请号：CN200580018510.0

申请日：2005-04-01

Applicant: 奈伊科公司

Inventor： J·杜兰德 ,  F·劳夫雷 ,  I·里查德特

IPC: C23C16/12 ,  C23C16/40

CPC classification number: C23C16/12 ,  C03C17/001 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3649 ,  C03C17/3652 ,  C03C17/3657 ,  C03C17/3684 ,  C03C2217/72 ,  C03C2218/153 ,  C23C16/006 ,  C23C16/0272 ,  C23C16/402

Abstract: 该方法包括下列步骤：把该基体(12)置于一真空盒(14)中；一液体成分在常温常压下蒸发成一气体；以及把该气体引入该盒(14)中。该气体分解后把一辅助气体引入该盒(14)中与该分解气体反应而在该基体(12)上生成至少一层薄层。本发明还涉及一种形成一彩色薄膜的方法和能实施本发明方法的一种装置(10)。